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MB線切割硅片工序操作規(guī)程

2012-06-20 10:54

　　14、按F13 檢查工件進給的調(diào)節(jié)因子是否設(shè)定在 100%？按F13 檢查所有工件是否被鎖緊？并調(diào)整設(shè)定切割時的零點（按F5，降低工作臺）。調(diào)節(jié)上工作臺面，按F9 先釋放夾緊，再手動轉(zhuǎn)動機器右側(cè)的手輪，調(diào)節(jié)結(jié)束后，并將工作臺再次鎖緊。按F13/S3 檢查工件的位置是否回到 2.000mm處？按F13/S10 檢查在切割時的進給速度是否設(shè)定為：1mm/min？

　　15、按F14/S10 檢查軸承和馬達的溫度設(shè)定值 “Set” 是否正確（23°）？

　　16、按F15 檢查線速度的調(diào)節(jié)因子是否設(shè)定在 100%？按F15 檢查向前/向后進線的按鈕應(yīng)沒有被激活（F5）？按F15 檢查切割進線的方向設(shè)定是否正確（F6，向左側(cè)進給 “ß”）？按F15 檢查斷線檢查鍵應(yīng)被激活（F8）？按F15檢查接地檢查鍵應(yīng)被激活（F9）？按F15/S10 檢查線的張力（自動模式下）設(shè)定值是否正確（應(yīng)為：35N）？按F15/S10 檢查線速度在自動模式下設(shè)定是否正確（應(yīng)為：12m/s）？

　　17、按F16/S10 剩余時間值是否正確？在開始自動切割前檢查不允許有報警信息存在。將門用鑰匙關(guān)閉并鎖緊（off 側(cè)），并將鑰匙取出保管好。在按“自動開始切割模式“后將最頂層畫面顯示在窗體上，并確認切割時間是否正確？在按“自動開始切割模式“后將最頂層畫面顯示在窗體上，并確認此次切割所要消耗的線長是否正確？

　　18、開始切割。按“《-》”按鈕。

　　六、切割中注意事項

　　在切割過程中要觀察機器的運行狀況（軸承的溫度；漿料的溫度/ 漿料的流量；線的張力等。

　　七、切割后檢查步驟

　　1、在切割結(jié)束時，按“ENTER”鍵確認信息；

　　2、在頂層畫面按F3 鍵，將自動模式改為“SETUP”模式；

　　3、用鑰匙將門解鎖（to “ON” side）；將前門打開；

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