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MB線切割硅片工序操作規(guī)程

2012-06-20 10:54

　　四、攪拌漿料

　　根據切割晶棒的總長度用計算軟件計算需要的乙二醇和碳化硅，填寫在《攪拌漿料記錄表》上。先用氣泵將乙二醇抽入攪拌器中，然后將碳化硅緩慢均勻的倒入攪拌器中，連續(xù)攪拌4小時以上，用測流速專用工具測量其流速，時間在30~40分鐘為合格。

　　五、切割前準備步驟

　　1、按F14，F6 將冷卻水開關全部打開，在執(zhí)行此命令前，要檢查外界的冷卻系統是否打開，并檢查進水口水壓在 2 - 4 bar。

　　2、檢查切割線網上是否有跳線，并將跳線固定好。從機器中將所有掉落的晶片清理干凈，并將線網下方的過濾網清潔。

　　3、按F15 檢查右側放線輪上的切割線的長度（》210km），如果長度不夠，請更換新的足夠長的線，同時要調整放線輪的參數（直徑、線長--km）。按F15 檢查左側收線輪上線的長度（《430 km），如果長度已超出，請更換新的收線輪，同時要調整收線輪的參數（直徑、線長--km），并在新的收線輪上預先繞上1km的線（手動執(zhí)行）。（如出現收線輪線長的報警等，可將收線輪上的線長臨時改為2km，待正常后，再將其改回正確的值。）。

　　4、檢查小的導線輪，如果有損傷等情況時，可將其更換，正常切割10次左右后，將其更換。

　　5、將左、右側的門關閉。

　　6、檢查漿料供給是否正常（向前、向后）？

　　7、檢查漿料罐漿料過濾器的壓力（最大不要超過： 0.5 bar，否則要更換新的過濾袋）。

　　8、檢查漿料的噴嘴是否被堵��？如果不是很干凈，請將其清洗干凈。

　　9、將所有工件的夾緊部位清潔，（較長晶棒的一側緊靠活動軸承一側），并將其鎖緊。

　　10、檢查冷卻水的溫度在切割時不要超過19ºC （按F14，àB1701）。檢查柜內的冷卻水系統的壓力必須分別在：最低 5 bar； 2.5 bar； 5 bar. （冷卻系統必須全部打開）。

　　11、按F11，F4 檢查漿料的密度是否在范圍內？（=1.65 ± 0.001kg/l）

　　12、按F11/S10 檢查漿料的溫度及其設定值 “Set” 是否正確（25.4°）

　　13、按F12 檢查切割的工藝參數（是否為正確的切割過程參數）