n型晶體硅/p型非晶硅異質(zhì)結(jié)太陽電池的研制
圖2所示為硅片少子壽命隨不同H等離子處理時(shí)間的變化曲線,可以看出對襯底進(jìn)行一定時(shí)間的H處理(《25s)后少子壽命都有提高,其中最佳H處理時(shí)間為20s,此時(shí)少子壽命值相對于原始裸片增加了11.35“s,適當(dāng)時(shí)間的H處理可鈍化硅片表面的懸掛鍵,同時(shí)刻蝕掉了硅表面的氧化層,有效改善界面,然而過長時(shí)間的H等離子處理會(huì)對硅片表面造成損傷,引起表面缺陷的增加,相應(yīng)的也降低了其少子壽命。
。3)本征非晶硅沉積及其鈍化作用
圖3為硅片少子壽命隨沉積不同i-a-Si:H厚度的變化曲線,可以看出沒有沉積本征非晶硅層的硅襯底少子壽命最優(yōu)值為16.44”s,當(dāng)沉積一定厚度的本征非晶硅后,硅片的少子壽命均有提高,說明了非晶硅薄膜作為緩沖層減小了異質(zhì)結(jié)界面態(tài)密度,對硅片表面有很強(qiáng)的鈍化效果。其中隨著厚度的增加,當(dāng)沉積時(shí)間為40s,厚度約為3nlTl的本征非晶硅,少子壽命最高達(dá)到24.61“s,并且得到的本征非晶硅薄膜結(jié)構(gòu)比較穩(wěn)定,能夠在電池中應(yīng)用。
(4)本征非晶硅對HIT太陽電池性能的影響
圖4 HIT太陽電池V沉積i-a-Si:H層厚度的變化曲線
在沉積不同本征非晶硅層厚度的基礎(chǔ)上,制備完整的HIT太陽電池樣品,測試得到電池的開路電壓(U)與沉積i-a-Si:H層厚度的變化曲線如圖4所示。從圖中可以看出,當(dāng)沉積時(shí)間為40s,制備得到的HIT太陽電池的K最高,結(jié)合前面關(guān)于本征i層對硅片表面的鈍化作用,此時(shí)的少子壽命也是最高的,說明表面鈍化能有效提高電池的開壓。
保持HIT太陽電池其他工藝條件不變,僅改變本征非晶硅層的插入,制備一組電池樣品,測試電池的QE響應(yīng)和IV特性,如圖5所示。
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