晶體硅太陽(yáng)能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解
生產(chǎn)晶體硅太陽(yáng)能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路,將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來(lái)完成——將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過(guò)絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。典型的晶體硅太陽(yáng)能電池從頭到尾整個(gè)生產(chǎn)工藝流程中需要進(jìn)行多次絲網(wǎng)印刷步驟。通常,有兩種不同的工藝分別用于電池正面(接觸線和母線)和背面(電極/鈍化和母線)的絲網(wǎng)印刷。【表1】
多年來(lái),太陽(yáng)能絲網(wǎng)印刷設(shè)備在精度和自動(dòng)化方面有了很大進(jìn)步,具備了在微米級(jí)尺寸上重復(fù)進(jìn)行多次印刷的能力。這一發(fā)展開(kāi)創(chuàng)了全新的先進(jìn)應(yīng)用,如雙重印刷和選擇性發(fā)射極金屬鍍膜。Baccini公司在20世紀(jì)70年代在微電子領(lǐng)域開(kāi)發(fā)了絲網(wǎng)印刷技術(shù),并在20世紀(jì)80年代將這一技術(shù)擴(kuò)展到太陽(yáng)能金屬鍍膜領(lǐng)域。今天,Baccini公司已成為應(yīng)用材料公司Baccini集團(tuán),以多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)引領(lǐng)業(yè)界的發(fā)展。
表1:晶體硅太陽(yáng)能電池的制造需要進(jìn)行多次絲網(wǎng)印刷步驟。
基本的太陽(yáng)能絲網(wǎng)印刷
印刷過(guò)程從硅片放置到印刷臺(tái)上開(kāi)始。非常精細(xì)的印刷絲網(wǎng)固定在網(wǎng)框上,放置在硅片上方;絲網(wǎng)封閉了某些區(qū)域而其它區(qū)域保持開(kāi)放,以便導(dǎo)電漿料能夠通過(guò)【圖2】。硅片和絲網(wǎng)的距離要嚴(yán)格地控制(稱(chēng)為印刷間隙)。由于正面需要更加纖細(xì)的金屬線,因此用于正面印刷的絲網(wǎng)其網(wǎng)格通常比用于背面印刷的要細(xì)小得多。
表2:印刷絲網(wǎng)上包含打開(kāi)和閉合的區(qū)域,通過(guò)打開(kāi)的區(qū)域,導(dǎo)電漿料可以被印刷到硅片上。
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