PECVD真空腔體是HJT電池生產所需關鍵設備,行業(yè)發(fā)展前景廣闊
PECVD是制備薄膜光伏電池中非晶硅吸收層的關鍵工藝,而PECVD真空腔體則是PECVD工藝所需重要設備載體之一。
真空腔體是指保證內部為真空狀態(tài)的容器設備,當前在技術工藝要求不斷升級背景下,多數先進工藝均需在真空或惰性氣體保護條件下完成,因此,真空腔體應運而生,成為保證多種工藝順利實施的關鍵設備。
PECVD真空腔體則是等離子增強型化學氣相淀積(PECVD)技術工藝中所需真空腔體的總稱。根據用途不同,PECVD真空腔體可分為PECVD真空工藝腔體與PECVD真空傳送腔體兩大類;根據材質不同,PECVD真空腔體可分為不銹鋼、鋁合金、鈦合金真空腔體等。
等離子增強型化學氣相淀積(PECVD)是化學氣相淀積技術的一種,是指在低氣壓條件下,利用低溫等離子體在真空腔體的陰極上產生輝光放電,通過輝光放電使樣品升溫,再與氣體發(fā)生反應下,使樣品表面形成固態(tài)薄膜的過程。PECVD是制備薄膜光伏電池中非晶硅吸收層的關鍵工藝,而PECVD真空腔體則是PECVD工藝所需重要設備載體之一。當前在下游薄膜光伏電池市場快速發(fā)展帶動下,PECVD真空腔體行業(yè)迎來發(fā)展新機遇。
PECVD工藝在異質結(HJT)光伏電池中應用占比較大。HJT電池是光伏電池行業(yè)中具有顛覆性技術的新型電池,當前在光伏發(fā)電產業(yè)快速發(fā)展背景下,其產業(yè)化進程正不斷加快。目前已有愛康科技、寶馨科技、東方日升等多家企業(yè)布局HJT電池項目,2022年國內HJT電池擴產規(guī)模在20-30GW。根據新思界產業(yè)研究中心發(fā)布的《2023-2028年PECVD真空腔體行業(yè)市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示,未來隨著HJT電池加速擴產,預計到2025年,我國PECVD真空腔體市場規(guī)模有望達到7.9億元,2023-2025年規(guī)模復合年增長率將超過100%。
PECVD真空腔體屬于大型鑄件之一,目前國內具備量產能力的企業(yè)主要包括明志科技、日揚科技、神商精密器材、帕薩電子裝備等,F(xiàn)階段,我國HJT電池尚未實現(xiàn)產業(yè)化,因此,作為其配套裝備的PECVD真空腔體行業(yè)仍處于初步發(fā)展階段,布局企業(yè)數量較少。
新思界產業(yè)分析人士表示,異質結(HJT)電池是一種高效晶硅太陽能電池結構,是一類極具發(fā)展?jié)摿Φ?span id="thdtrhbldzz3" class='hrefStyle'>太陽能電池,當前在其優(yōu)勢不斷凸顯背景下,其產業(yè)化進程正不斷加速。而PECVD真空腔體作為HJT電池核心生產工藝PECVD的關鍵設備載體,市場需求得以不斷增加。但目前國內PECVD真空腔體行業(yè)仍處于初步發(fā)展階段,未來還有巨大成長空間。
原文標題 : 【洞察】PECVD真空腔體是HJT電池生產所需關鍵設備 行業(yè)發(fā)展前景廣闊
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