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冷氫化技術(shù)的發(fā)展史

　　高純?cè)?span id="ajjt0k8zsj2" class='hrefStyle'>多晶硅生產(chǎn)是太陽能光伏產(chǎn)業(yè)乃至半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，隨著競爭壓力和節(jié)能環(huán)保呼聲的日益高漲，降低多晶硅生產(chǎn)過程中的能耗成為關(guān)鍵。而采用冷氫化代替此前的熱氫化就是關(guān)鍵技術(shù)之一，目前已經(jīng)成為行業(yè)的風(fēng)向標(biāo)。但是在此之前，冷氫化技術(shù)的發(fā)展也經(jīng)歷了很長的過程。

        （1）1948年，聯(lián)合碳素UCC的分公司林德氣體為了找到一種合成TCS的方法而最先開發(fā)了冷氫化技術(shù)，但在當(dāng)時(shí)生產(chǎn)TCS是為了制備有機(jī)硅而非高純硅。

　�。�2）1950~1960，林德公司在西維吉尼亞建了一個(gè)用冷氫化技術(shù)生產(chǎn)TCS的生產(chǎn)線；同時(shí)，他們發(fā)現(xiàn)用Si+HCl的方式（合成法）來生產(chǎn)TCS更加經(jīng)濟(jì)，于是就將冷氫化技術(shù)擱置。

 

　　（3）1973年，當(dāng)?shù)谝淮问臀C(jī)來臨后，美國政府開始尋找石油的替代能源，太陽能就是其中之一，很多公司參與了與之相關(guān)的研究（包括多晶硅的生產(chǎn)），其中包括UCC。

　�。�4）1977年，美國總統(tǒng)卡特授權(quán)美國航空航天署NASA尋找降低太陽能電池板生產(chǎn)成本的方法。此時(shí)，多晶硅的生產(chǎn)再次被提上議事日程。UCC當(dāng)時(shí)介入了此事，便重新把硅烷技術(shù)（1971年發(fā)明）及冷氫化技術(shù)找出來，開始準(zhǔn)備建立中試裝置。

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