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新能源飛奔背后,“碳化硅”賽道爭(zhēng)奪戰(zhàn)誰(shuí)是下一個(gè)王者?

二、碳化硅(SiC)行業(yè)的最核心環(huán)節(jié)在哪?

從產(chǎn)業(yè)鏈角度看,碳化硅(SiC)類器件的制造,主要包含“襯底-外延-器件制造”三個(gè)步驟。

而在各環(huán)節(jié)的價(jià)值量比較中,SiC產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)明顯 “頭重腳輕”的特征,其中襯底和外延有將近70%的價(jià)值量占比。與硅基器件相比,SiC類器件的上游材料制造環(huán)節(jié)具有較高的技術(shù)壁壘,這也使得上游材料更大的影響了最終產(chǎn)品的成本項(xiàng)。由此可以看出,襯底及外延環(huán)節(jié)的降本將是SiC產(chǎn)業(yè)的主要發(fā)展方向。

資料來(lái)源:長(zhǎng)橋海豚投研整理

1)SiC襯底:襯底是碳化硅產(chǎn)業(yè)中最重要的環(huán)節(jié),價(jià)值量占比接近50%。沒(méi)有SiC襯底,就造不出SiC器件,所以襯底是最基本的材料基礎(chǔ)。

SiC襯底是將原材料高純硅粉/碳粉,通過(guò)原料合成、晶體生長(zhǎng)、晶錠切割、晶圓切割、研磨拋光等環(huán)節(jié)進(jìn)行制備。在襯底生產(chǎn)中,最主要的難點(diǎn)在于超高溫環(huán)境、長(zhǎng)晶時(shí)間久、加工工藝高。

資料來(lái)源:天岳先進(jìn)、長(zhǎng)橋海豚投研

由于襯底是SiC器件最大的成本項(xiàng)來(lái)源,襯底端價(jià)格的下降也是整個(gè)行業(yè)最主要的關(guān)注點(diǎn)。參考產(chǎn)業(yè)鏈信息,目前國(guó)內(nèi)SiC襯底主流規(guī)格分別為4英寸和6英寸,襯底價(jià)格呈現(xiàn)每年下降10%左右的幅度。相對(duì)來(lái)看,4英寸襯底的良率達(dá)到70%以上,而6英寸襯底良率還不到50%。隨著產(chǎn)品良率的逐年提升,SiC襯底的價(jià)格有望進(jìn)一步下探。

而對(duì)于未來(lái)SiC襯底價(jià)格能否下降的主要因素在于:

1工藝和設(shè)備的改進(jìn),提升長(zhǎng)晶效率;

2減少損耗,提升產(chǎn)品良率;

3從襯底到最終產(chǎn)品的轉(zhuǎn)換率提升;

4增加尺寸提升晶圓利用率。

2)SiC外延:外延環(huán)節(jié),在SiC制備過(guò)程中的價(jià)值量占比接近1/4,是從材料到SiC器件制備過(guò)程中不可缺少的環(huán)節(jié)。

外延層的制備,主要是在SiC襯底基礎(chǔ)上生長(zhǎng)出一層單晶薄膜,再用以制造出所需的電力電子器件。目前外延層的制造,最主流方法是化學(xué)氣相沉積法(CVD法),利用氣態(tài)的先驅(qū)反應(yīng)物,通過(guò)原子、分子間化學(xué)反應(yīng)的途徑生成固態(tài)薄膜的技術(shù)。

資料來(lái)源:長(zhǎng)橋海豚投研整理

那為什么器件不直接在SiC襯底上做,而要在外延層上做呢?

因?yàn)榫w在生長(zhǎng)過(guò)程中,襯底表面不可避免會(huì)有缺陷。如果直接在襯底上做器件,會(huì)影響整個(gè)襯底的質(zhì)量,從而對(duì)器件的性能有影響。而外延層的設(shè)計(jì),使得整個(gè)表面更加平整,減少了缺陷,更保障器件的性能。

在碳化硅襯底基礎(chǔ)上,對(duì)于外延層的選擇上,有氮化鎵外延也有碳化硅外延,主要取決于最終器件的應(yīng)用領(lǐng)域。①碳化硅外延,主要用于生產(chǎn)SBD、IGBT、MOSFET等高壓功率半導(dǎo)體領(lǐng)域;②氮化鎵外延,主要用于微波射頻領(lǐng)域、光電領(lǐng)域,也有一部分用于中低壓功率半導(dǎo)體。

資料來(lái)源:天岳先進(jìn)、長(zhǎng)橋海豚投研

外延層制備,能有效提升器件的性能,需要較厚的外延層、整齊的表面和較低的雜質(zhì)度。而能否做出較好品質(zhì)的外延層,需要成熟的設(shè)備和優(yōu)質(zhì)的襯底。這是由于在外延層制備中,襯底的缺陷有可能被復(fù)制在表面沉積的外延層,所以襯底的好壞直接也影響外延層的質(zhì)量。

綜合整個(gè)SiC產(chǎn)業(yè)鏈看,襯底將是碳化硅的最核心環(huán)節(jié)。襯底本身就占到整體產(chǎn)業(yè)價(jià)值鏈的1/2,它還直接影響外延層的質(zhì)量,實(shí)際影響程度將達(dá)到70%以上。因此海豚君認(rèn)為,對(duì)SiC的研究最主要的是圍繞襯底環(huán)節(jié)的研究。

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