走進去離子水的制備
一般的自來水和普通的蒸餾水中都含有一些雜質(zhì)離子如鈉離子、鉀離子、鎂離子、鈣離子、氯離子、硫酸根離子、碳酸根離子、硅酸根離子、氨分子等雜質(zhì),而硅片的清洗過程要求高純度的水,這樣才能達到硅片清洗的要求。如果用自來水或蒸餾水清洗硅片,不但不能洗干凈,反而玷污硅片表面。因此沖洗硅片必須使用含離子少的高純水,一般稱為去離子水。目前制備去離子水采用離子交換樹脂法和反滲透法制備。下面分別作一一介紹。
1.離子交換樹脂法
離子交換樹脂屬于高分子聚合物,不溶于水的顆粒狀固體物質(zhì)。當(dāng)離子交換樹脂與含有各種離子的水接觸時,一方面離子交換樹脂吸附水中的離子,另一方面離子交換樹脂把自身所含的離子釋放出來進入水中,即發(fā)生了離子交換反應(yīng)。因而稱為離子交換樹脂。
(1)離子交換樹脂的分類:
陽離子交換樹脂:強酸性陽離子交換樹脂,如R-SO3H
弱酸性陽離子交換樹脂,如R-COOH
陰離子交換樹脂:強堿性陰離子交換樹脂,如R=NOH
弱堿性陰離子交換樹脂,如R-NH3OH
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