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硅片多線切割技術(shù)詳解

  硅片是半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域的主要生產(chǎn)材料。硅片多線切割技術(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的硅片加工技術(shù),它不同于傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片等切割方式,也不同于先進(jìn)的激光切割和內(nèi)圓切割,它的原理是通過(guò)一根高速運(yùn)動(dòng)的鋼線帶動(dòng)附著在鋼絲上的切割刃料對(duì)硅棒進(jìn)行摩擦,從而達(dá)到切割效果。在整個(gè)過(guò)程中,鋼線通過(guò)十幾個(gè)導(dǎo)線輪的引導(dǎo),在主線輥上形成一張線網(wǎng),而待加工工件通過(guò)工作臺(tái)的下降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給。硅片多線切割技術(shù)與其他技術(shù)相比有:效率高,產(chǎn)能高,精度高等優(yōu)點(diǎn)。是目前采用最廣泛的硅片切割技術(shù)。

  多線切割技術(shù)是硅加工行業(yè)、太陽(yáng)能光伏行業(yè)內(nèi)的標(biāo)志性革新,它替代了原有的內(nèi)圓切割設(shè)備,所切晶片與內(nèi)圓切片工藝相比具有彎曲度(BOW)、翹曲度(WARP)小,平行度(TAPER)好,總厚度公差(TTA)離散性小,刃口切割損耗小,表面損傷層淺,晶片表面粗糙度小等等諸多優(yōu)點(diǎn)。

  太陽(yáng)能硅片的線切割機(jī)理就是機(jī)器導(dǎo)輪在高速運(yùn)轉(zhuǎn)中帶動(dòng)鋼線,從而由鋼線將聚乙二醇和碳化硅微粉混合的砂漿送到切割區(qū),在鋼線的高速運(yùn)轉(zhuǎn)中與壓在線網(wǎng)上的工件連續(xù)發(fā)生摩擦完成切割的過(guò)程。

  在整個(gè)切割過(guò)程中,對(duì)硅片的質(zhì)量以及成品率起主要作用的是切割液的粘度、碳化硅微粉的粒型及粒度、砂漿的粘度、砂漿的流量、鋼線的速度、鋼線的張力以及工件的進(jìn)給速度等。

  一、切割液(PEG)的粘度

  由于在整個(gè)切割過(guò)程中,碳化硅微粉是懸浮在切割液上而通過(guò)鋼線進(jìn)行切割的,所以切割液主要起懸浮和冷卻的作用。

  1、切割液的粘度是碳化硅微粉懸浮的重要保證。由于不同的機(jī)器開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)的系統(tǒng)思維不同,因而對(duì)砂漿的粘度也不同,即要求切割液的粘度也有不同。例如瑞士線切割機(jī)要求切割液的粘度不低于55,而NTC要求22-25,安永則低至18。只有符合機(jī)器要求的切割標(biāo)準(zhǔn)的粘度,才能在切割的過(guò)程中保證碳化硅微粉的均勻懸浮分布以及砂漿穩(wěn)定地通過(guò)砂漿管道隨鋼線進(jìn)入切割區(qū)。

  2、由于帶著砂漿的鋼線在切割硅料的過(guò)程中,會(huì)因?yàn)槟Σ涟l(fā)生高溫,所以切割液的粘度又對(duì)冷卻起著重要作用。如果粘度不達(dá)標(biāo),就會(huì)導(dǎo)致液的流動(dòng)性差,不能將溫度降下來(lái)而造成灼傷片或者出現(xiàn)斷線,因此切割液的粘度又確保了整個(gè)過(guò)程的溫度控制。

  二、碳化硅微粉的粒型及粒度

  太陽(yáng)能硅片的切割其實(shí)是鋼線帶著碳化硅微粉在切,所以微粉的粒型及粒度是硅片表片的光潔程度和切割能力的關(guān)鍵。激光劃片機(jī)、粒型規(guī)則,切出來(lái)的硅片表明就會(huì)光潔度很好;粒度分布均勻,就會(huì)提高硅片的切割能力。

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